パルスCO2レーザを用いたガラス微細穴形成技術

Publication Information

Title

Japanese:	パルスCO2レーザを用いたガラス微細穴形成技術
English:

Author

Japanese:	中村玲王奈, 桂智毅, 藤川周一, 真柄卓司, 稲川貴大, 青野祐子, 戸倉和.
English:	中村玲王奈, 桂智毅, 藤川周一, 真柄卓司, Takahiro Inagawa, Yuko Aono, HITOSHI TOKURA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:	2013年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

Volume, Number, Page

pp. 587-588

Published date

Mar. 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:
English:	2013年度精密工学会春季大会学術講演会

Conference site

Japanese:	東京
English: