ソフトリソグラフィを用いた硬質マイクロ流体デバイスの高効率製作手法の開発
エラストマー印刷版の可視化と解析

Publication Information

Title

Japanese:	ソフトリソグラフィを用いた硬質マイクロ流体デバイスの高効率製作手法の開発エラストマー印刷版の可視化と解析
English:

Author

Japanese:	茂木克雄, 杉井康彦, 山本貴富喜, 藤井輝夫.
English:	Katsuo Mogi, Yasuhiko Sugii, Takatoki Yamamoto, Teruo Fujii.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Nov. 6, 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	仙台
English: