ダブルステップ化Si(100) 2°off基板上CdF<sub>2</sub>/CaF<sub>2</sub> 共鳴トンネルダイオードの作製と評価

Publication Information

Title

Japanese:	ダブルステップ化Si(100) 2°off基板上CdF₂/CaF₂ 共鳴トンネルダイオードの作製と評価
English:	Fabrication and characterization of CdF₂/CaF₂ resonant tunneling diode on double step Si(100) 2°off substrate

Author

Japanese:	金澤徹, 松田克己, 渡辺正裕, 浅田雅洋.
English:	T. Kanazawa, M. Matsuda, M. Watanabe, M. Asada.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

29a-ZE-3 3 1469

Published date

Mar. 29, 2003

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第50回応用物理学会関係連合講演会
English:	The 50th Spring Meeting of The Jpn. Soc. Of Appl. Phys. And Related Societies

Conference site

Japanese:	神奈川県
English:	Kanagawa