低気圧酸素プラズマの励起状態密度分布に対する電子エネルギー分布関数の重要性

Publication Information

Title

Japanese:	低気圧酸素プラズマの励起状態密度分布に対する電子エネルギー分布関数の重要性
English:	Essentiality of EEDF on the Excitation Kinetics of Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma

Author

Japanese:	今野潤哉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
English:	J. Konno, A. Nezu, H. Matsuura, H. Akatsuka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本物理学会講演概要集
English:	Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan

Volume, Number, Page

Vol. 69 No. 1 p. 282

Published date

Mar. 5, 2014

Publisher

Japanese:	一般社団法人日本物理学会
English:	The Physical Society of Japan

Conference name

Japanese:	日本物理学会第６９回年次大会
English:	69th Annual Meeting of the Physical Society of Japan

Conference site

Japanese:	平塚
English:	Hiratsuka