ZnOグラフォエピタキシャル薄膜の成長機構

Publication Information

Title

Japanese:	ZnOグラフォエピタキシャル薄膜の成長機構
English:

Author

Japanese:	入野将昂, 大島孝仁, 大友明.
English:	M. Irino, T. Oshima, A. Ohtomo.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 17, 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第61回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 61st JSAP Spring Meeting 2014

Conference site

Japanese:	相模原市
English:	Sagamihara

Official URL

Abstract

ガラス基板表面微細パターニングにより面内配向を示す機能性酸化物薄膜を得ることは、デバイス製造コスト低減のために非常に有用である。我々は，ガラス基板パターン上で面内配向を示すZnO薄膜を合成し,その配向機構に関する知見を得ることに成功したので報告する。