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Publication Information
Title
Japanese:
ZnOグラフォエピタキシャル薄膜の成長機構
English:
Author
Japanese:
入野 将昂
,
大島 孝仁
,
大友 明
.
English:
M. Irino
,
T. Oshima
,
A. Ohtomo
.
Language
Japanese
Journal/Book name
Japanese:
English:
Volume, Number, Page
Published date
Mar. 17, 2014
Publisher
Japanese:
English:
Conference name
Japanese:
第61回応用物理学会春季学術講演会
English:
The 61st JSAP Spring Meeting 2014
Conference site
Japanese:
相模原市
English:
Sagamihara
Official URL
https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2014s/top
Abstract
ガラス基板表面微細パターニングにより面内配向を示す機能性酸化物薄膜を得ることは、デバイス製造コスト低減のために非常に有用である。我々は,ガラス基板パターン上で面内配向を示すZnO薄膜を合成し,その配向機構に関する知見を得ることに成功したので報告する。
©2007
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