傾斜ドライエッチングを用いた酸化チタンフォトニック結晶の作製と評価

Publication Information

Title

Japanese:	傾斜ドライエッチングを用いた酸化チタンフォトニック結晶の作製と評価
English:

Author

Japanese:	小林大斗, 松谷晃宏, 西岡國生, 庄司大, 佐藤美那, 磯部敏宏, 中島章, 立間徹, 松下祥子.
English:	Daito Kobayashi, akihiro matsutani, Kunio Nishioka, Dai Shoji, Mina Sato, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Toru Tatsuma, Sachiko Matsushita.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 19, 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第61回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	相模原
English: