表面活性化接合を用いたIII–V/SOIハイブリッド光デバイスにおけるIII–V層部分エッチングプロセスの検討

Publication Information

Title

Japanese:	表面活性化接合を用いたIII–V/SOIハイブリッド光デバイスにおけるIII–V層部分エッチングプロセスの検討
English:

Author

Japanese:	鈴木純一, 林侑介, 久能雄輝, 姜晙炫, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
English:	J. Suzuki, Y. Hayashi, Y. Kuno, J.H. Kang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第75回秋季応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	札幌
English: