積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討
English:

Author

Japanese:	松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 亀井将太, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
English:	Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Shota Kamei, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. P5

Published date

July 11, 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
English:

Conference site

Japanese:	愛知県豊橋市
English:

Official URL