マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討

Publication Information

Title

Japanese:	マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益一哉, 年吉洋, 町田克之.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. P7

Published date

July 11, 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
English:

Conference site

Japanese:	愛知県豊橋市
English:

Official URL