先端放電型プラズマCVDを用いた3C-SiC/Si上へのダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長

Publication Information

Title

Japanese:	先端放電型プラズマCVDを用いた3C-SiC/Si上へのダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長
English:

Author

Japanese:	矢板潤也, 岩崎孝之, M.Natal, S.E. Saddow, 波多野睦子.
English:	Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, M.Natal, S.E. Saddow, Mutsuko Hatano.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Nov. 19, 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第２８回ダイヤモンドシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	千住
English: