Si基板上InP系薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長

Publication Information

Title

Japanese:	Si基板上InP系薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長
English:	GaInAsP Butt-Joint Regrowth for Membrane Photonic Integration by OMVPE on Si

Author

Japanese:	井上大輔, 李智恩, 土居恭平, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
English:	Daisuke Inoue, Jieun Lee, Kyohei Doi, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第20回シリコンフォトニクス研究会
English:

Volume, Number, Page

SIPH2013-P11

Published date

Oct. 18, 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第20回シリコンフォトニクス研究会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English:	Tokyo