水熱合成PZT薄膜を用いた球面型超音波トランスデューサの作製と評価 (第二報)スパッタリング法による結晶核生成の改良

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成PZT薄膜を用いた球面型超音波トランスデューサの作製と評価 (第二報)スパッタリング法による結晶核生成の改良
English:

Author

Japanese:	山本康平, 神田岳文, 鈴森康一, 中平大智, 長谷川晶宏, 池永訓昭, 作道訓之.
English:	山本康平, Takefumi Kanda, Koichi Suzumori, 中平大智, 長谷川晶宏, 池永訓昭, 作道訓之.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. 157-158

Published date

Sept. 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2013年度精密工学会秋季大会
English:

Conference site

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