NiOバッファ層を用いたワイドギャップ半導性β-Ga2O3エピタキシャル薄膜の低温PLD成長

Publication Information

Title

Japanese:	NiOバッファ層を用いたワイドギャップ半導性β-Ga₂O₃エピタキシャル薄膜の低温PLD成長
English:	Low-temperature epitaxy of β-Ga₂O₃ thin film by PLD using NiO buffer layer

Author

Japanese:	松田晃史, 福田大二, 塩尻大士, 土嶺信男, 金子智, 吉本護.
English:	Akifumi Matsuda, Daiji Fukuda, daishi shiojiri, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本セラミックス協会 2015年年会講演予稿集
English:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2015, Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 6, 2015

Publisher

Japanese:	公益社団法人日本セラミックス協会
English:	The Ceramic Society of Japan

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会 2015年年会
English:	The Ceramic Society of Japan, Annual Meeting 2015

Conference site

Japanese:	岡山
English:	Okayama

Official URL