電磁アクチュエータ一体型マイクロリニアポンプ

Publication Information

Title

Japanese:	電磁アクチュエータ一体型マイクロリニアポンプ
English:

Author

Japanese:	鈴森康一, 古澤宏明, 神田岳文, 山田嘉昭, 永田卓志.
English:	Koichi Suzumori, 古澤宏明, Takefumi Kanda, 山田嘉昭, 永田卓志.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会論文誌E センサ・マイクロマシン準部門誌
English:

Volume, Number, Page

Vol. 125 No. 12 pp. 461-466

Published date

Dec. 2005

Publisher

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Conference name

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Conference site

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