酸素ラジカル支援パルスレーザ堆積法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長

Publication Information

Title

Japanese:	酸素ラジカル支援パルスレーザ堆積法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長
English:	Oxygen-radical-assisted pulsed-laser deposition of β-Ga₂O₃-based films

Author

Japanese:	若林諒, 大島孝仁, 服部真依, 佐々木公平, 増井建和, 倉又朗人, 山腰茂伸, 吉松公平, 大友明.
English:	R. Wakabayashi, T. Oshima, M. Hattori, K. Sasaki, T. Masui, A. Kuramata, S. Yamakoshi, K. Yoshimatsu, A. Ohtomo.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

July 15, 2015

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第34回電子材料シンポジウム
English:	34th Electronic Materials Symposium

Conference site

Japanese:	滋賀県
English:	Shiga

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