異種材料界面におけるマイクロ波吸収を用いた酸化物薄膜形成プロセス

Publication Information

Title

Japanese:	異種材料界面におけるマイクロ波吸収を用いた酸化物薄膜形成プロセス
English:

Author

Japanese:	佐藤友香, 米谷真人, 筑紫洋平, 椿俊太郎, 鈴木榮一, 和田雄二.
English:	yuuka satou, Masato Maitani, Yohei Tsukushi, Shuntaro Tsubaki, EIICHI SUZUKI, Yuji Wada.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 13, 2015

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	名古屋
English: