水熱合成PZT膜を用いた凹面型小型超音波トランスデューサの作製と評価

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成PZT膜を用いた凹面型小型超音波トランスデューサの作製と評価
English:

Author

Japanese:	中岡佑太, 神田岳文, 中平大智, 鈴森康一.
English:	中岡佑太, Takefumi Kanda, 中平大智, Koichi Suzumori.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. 30am2-PS-036(1)-(4)

Published date

Oct. 28, 2015

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	新潟県新潟市
English: