微小圧縮試験及び微小引張試験によるMEMS用Cu-Ni-Si合金の機械的特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	微小圧縮試験及び微小引張試験によるMEMS用Cu-Ni-Si合金の機械的特性評価
English:

Author

Japanese:	柳田佐理, 荒木章好, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 名越貴志, 小林郁夫, 細田秀樹, 里達雄, 曽根正人.
English:	Sari Yanagida, Akiyoshi Araki, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Equo Kobayashi, Hideki Hosoda, Tatsuo Sato, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 19, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: