電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性

Publication Information

Title

Japanese:	電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性
English:

Author

Japanese:	寺西美波, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人.
English:	Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 19, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: