積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. 21p-P17-17

Published date

Mar. 19, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: