MEMS応用を目指したPLD磁石膜の微細形状加工および微細着磁

Publication Information

Title

Japanese:	MEMS応用を目指したPLD磁石膜の微細形状加工および微細着磁
English:

Author

Japanese:	田中駿也, 藤原良元, 土方亘, 進士忠彦, 廣瀧敬士, 山下昂洋, 柳井武志, 中野正基, 福永博俊, 鈴木健一, 門田祥悟.
English:	Shunya Tanaka, Ryogen Fujiwara, Wataru Hijikata, TADAHIKO SHINSHI, 廣瀧敬士, 山下昂洋, 柳井武志, 中野正基, 福永博俊, 鈴木健一, 門田祥悟.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第28回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集
English:

Volume, Number, Page

No. 16-13 pp. 56-57

Published date

May 18, 2016

Publisher

Japanese:	日本機械学会
English:

Conference name

Japanese:	第28回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	横浜市
English: