レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の低温エピタキシー

Publication Information

Title

Japanese:	レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga₂O₃薄膜の低温エピタキシー
English:	Low temperature epitaxy of wide bandgap β-Ga₂O₃ thin films by laser processing

Author

Japanese:	松田晃史, 塩尻大氏, 福田大二, 内田啓貴, 土嶺信男, 金子智, 吉本護.
English:	Akifumi Matsuda, Daishi Shiojiri, Daiji Fukuda, Hiroki Uchida, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本セラミックス協会 2016年年会講演予稿集
English:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2016, Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 14, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会 2016年年会
English:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2016

Conference site

Japanese:	東京
English:	Tokyo