高密度プラズマによる3C-SiC/Si上のダイヤモンド核配向性の向上

Publication Information

Title

Japanese:	高密度プラズマによる3C-SiC/Si上のダイヤモンド核配向性の向上
English:

Author

Japanese:	矢板潤也, 岩崎孝之, Meralys Reyes Nata, Stephen E. Saddow, 波多野睦子.
English:	Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Meralys Reyes Nata, Stephen E. Saddow, Mutsuko Hatano.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 20, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English:

Abstract

3月20日発表