小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価

Publication Information

Title

Japanese:	小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価
English:

Author

Japanese:	高安基大, 權田惇晟, 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
English:	Motohiro Takayasu, Toshiaki Gonda, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

May 16, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	LSIとシステムのワークショップ2016
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English:

Award

最優秀ポスター賞 (学生部門)