微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ

Publication Information

Title

Japanese:	微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ
English:

Author

Japanese:	神田岳文, 小野智久, 鈴森康一, 森田剛, 黒澤実.
English:	Takefumi Kanda, 小野智久, Koichi Suzumori, 森田剛, 黒澤実.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. 1A1-1F-F6，pp. 1A1-1F-F6(1)～(2)

Published date

May 2003

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	ロボティクス・メカトロニクス講演会2003講演論文集
English:

Conference site

Japanese:
English: