ポリマー表面への単原子ステップナノインプリント転写に与える加熱・加圧条件およびモールドの原子ステップ形状の影響

Publication Information

Title

Japanese:	ポリマー表面への単原子ステップナノインプリント転写に与える加熱・加圧条件およびモールドの原子ステップ形状の影響
English:	Influence of heat and pressure conditions and atomically stepped mold patterns on the nanoimprint transcription of atomic step patterns onto polymer surfaces

Author

Japanese:	譚ゴオン, 嶋田航大, 野沢靖久, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Geng Tan, Kodai Shimada, Yasuhisa Nozawa, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 1, 2015

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2016

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya City

Official URL