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Publication Information


Title
Japanese:高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価 （招待講演） 
English: 
Author
Japanese: 曽根 正人, Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之.  
English: 曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳君怡, 山根大輔, 益一哉, 町田克之.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:日本学術振興会・第172委員会 
English: 
Volume, Number, Page        
Published date Oct. 21, 2016 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:日本学術振興会・第172委員会 
English: 
Conference site
Japanese: 
English: 

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