ベッセルビームを用いたフッ素ドープ酸化スズ薄膜のナノ秒パルスレーザスクライビング

Publication Information

Title

Japanese:	ベッセルビームを用いたフッ素ドープ酸化スズ薄膜のナノ秒パルスレーザスクライビング
English:

Author

Japanese:	キムビョンギ, 飯田亮一, DoanDoku, 伏信一慶.
English:	Byunggi Kim, Ryoichi Iida, Doku hon Doan, KAZUYOSHI FUSHINOBU.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会熱工学コンファレンス2015講演論文集
English:

Volume, Number, Page

Published date

2015

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本機械学会熱工学コンファレンス2015
English:

Conference site

Japanese:	大阪
English:	Osaka