エキシマレーザーアニーリングによるバッファ層誘起β-Ga2O3薄膜の低温固相エピタキシャル結晶化

Publication Information

Title

Japanese:	エキシマレーザーアニーリングによるバッファ層誘起β-Ga₂O₃薄膜の低温固相エピタキシャル結晶化
English:	Low-temperature solid-phase epitaxial crystallization of buffer layer induced β-Ga₂O₃ films by excimer laser annealing

Author

Japanese:	内田啓貴, 塩尻大士, 福田大二, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Hiroki Uchida, daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
English:	The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 3, 2016

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016

Conference site

Japanese:	東京
English:	Tokyo

Official URL