熱ナノインプリント法を用いた透明ポリイミドシートへの単原子ステップパターンの転写と表面超平坦化

Publication Information

Title

Japanese:	熱ナノインプリント法を用いた透明ポリイミドシートへの単原子ステップパターンの転写と表面超平坦化
English:	Transcription of atomic step pattern and surface ultra-flattening on transparent polyimide sheets by thermal nanoimprint process

Author

Japanese:	嶋田航大, 譚ゴオン, 野沢靖久, 浦上達宣, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Kodai Shimada, Geng Tan, Yasuhisa Nozawa, Tatsuhiro Urakami, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 1, 2015

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2016

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya City

Official URL