エキシマレーザー照射による固相結晶化Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜における構造及び光学特性へ

Publication Information

Title

Japanese:	エキシマレーザー照射による固相結晶化Ga₂O₃薄膜における構造及び光学特性へ
English:	Effect of excimer laser irradiation condition on solid phase crystallization, structure and optical property of Ga₂O₃ thin films

Author

Japanese:	内田啓貴, 塩尻大士, 福田大二, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Hiroki Uchida, daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 1, 2015

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2016

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya City

Official URL