KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga₂O₃エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価
English:	Room temperature fabrication of β-Ga₂O₃ epitaxial thin films on NiO-buffered α-Al₂O₃ (0001) by KrF excimer laser annealing

Author

Japanese:	塩尻大士, 福田大二, 内田啓貴, 高野詩織, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Hiroki Uchida, Shiori Takano, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 1, 2015

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2016

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya City

Official URL