非晶質Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜へのエキシマレーザーアニールによる室温配向結晶成長

Publication Information

Title

Japanese:	非晶質Ga₂O₃薄膜へのエキシマレーザーアニールによる室温配向結晶成長
English:	Room-temperature oriented crystallization of amorphous Ga₂O₃ thin films by KrF excimer laser annealing

Author

Japanese:	塩尻大士, 福田大二, 山内涼輔, 金子智, 土嶺信男, 織田真也, 松田晃史, 吉本護.
English:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Ryosuke Yamauchi, Satoru Kaneko, Nobuo Tsuchimine, Masaya Oda, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	レーザー学会学術講演会第35回年次大会講演予稿集
English:

Volume, Number, Page

Published date

Jan. 11, 2015

Publisher

Japanese:	一般社団法人レーザー学会
English:	The Laser Society of Japan

Conference name

Japanese:	レーザー学会学術講演会第35回年次大会
English:

Conference site

Japanese:	東京都港区
English:	Tokyo