紫外レーザーアニーリングによるGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の室温配向結晶化

Publication Information

Title

Japanese:	紫外レーザーアニーリングによるGa₂O₃薄膜の室温配向結晶化
English:	Room-temperature oriented crystallization of Ga₂O₃ thin films by UV laser annealing

Author

Japanese:	塩尻大士, 福田大二, 山内涼輔, 金子智, 土嶺信男, 織田真也, 松田晃史, 吉本護.
English:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Ryosuke Yamauchi, Satoru Kaneko, Nobuo Tsuchimine, Masaya Oda, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 1, 2014

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第75回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014

Conference site

Japanese:	北海道札幌市
English:	Sapporo City

Official URL