PLD 法を用いたGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜結晶成長におけるバッファー層導入効果

Publication Information

Title

Japanese:	PLD 法を用いたGa₂O₃薄膜結晶成長におけるバッファー層導入効果
English:	Effect of a buffer layer on crystallization of PLD grown Ga₂O₃ thin films

Author

Japanese:	福田大二, 塩尻大士, 山内涼輔, 土嶺信男, 織田真也, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Daiji Fukuda, daishi shiojiri, Ryosuke Yamauchi, Nobuo Tsuchimine, Masaya Oda, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 1, 2014

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第75回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014

Conference site

Japanese:	北海道札幌市
English:	Sapporo City

Official URL