熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写

Publication Information

Title

Japanese:	熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写
English:	0.3 nm-high atomic-step patterning onto large PMMA surface by thermal nanoimprint

Author

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第61回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
English:	The 61st JSAP Spring Meeting, 2014 Extended Abstracts

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 1, 2014

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第61回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 61st JSAP Spring Meeting, 2014

Conference site

Japanese:	神奈川県相模原市
English:	Sagamihara City

Official URL