ケイ素添加によるアモルファス炭素系膜の耐食性能の向上

Publication Information

Title

Japanese:	ケイ素添加によるアモルファス炭素系膜の耐食性能の向上
English:

Author

Japanese:	西川純平, 中野雅之, 稗田純子, 大竹尚登, 赤坂大樹.
English:	Jumpei Nishikawa, Masayuki Nakano, Junko Hieda, NAOTO OHTAKE, Hiroki Akasaka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第77回応用物理学会秋季学術講演会 CDROM 15a-A26-9
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 14, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
English:	77 Th JSAP AUTUMN MEETING

Conference site

Japanese:	新潟
English: