KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価

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Title

Japanese:	KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価
English:

Author

Japanese:	塩尻大士, 福田大二, 内田啓貴, 髙野詩織, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	塩尻大士, 福田大二, 内田啓貴, 髙野詩織, 土嶺信男, 小山浩司, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

Sept. 13, 2015

Publisher

Japanese:
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Japanese:	名古屋
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