スパッタリング法によるCa-Mg-Si基膜の作製と特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタリング法によるCa-Mg-Si基膜の作製と特性評価
English:

Author

Japanese:	上原睦雄, 黒川満央, 秋山賢輔, 松島正明, 内田寛, 木村好里, 舟窪浩.
English:	Mutsuo Uehara, Mao Kurokawa, Kensuke Akiyama, masaaki matsushima, Hiroshi Uchida, YOSHISATO KIMURA, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 13, 2015

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	名古屋市
English: