酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～

Publication Information

Title

Japanese:	酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～
English:

Author

Japanese:	白石貴久, 中村奨梧, 範滄宇, 片山きりは, 清水荘雄, 舟窪浩, 木口賢紀, 今野豊彦.
English:	Takahisa Shiraishi, 中村奨梧, 範滄宇, Kiriha Katayama, Takao Shimizu, HIROSHI FUNAKUBO, Takanori Kiguchi, Toyohiko Konno.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 4, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	共用・計測合同シンポジウム2016 微細構造解析プラットフォーム・ワークショップ NIMS先端計測シンポジウム2016 合同シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	つくば市
English: