固相成長による配向制御したHfO2基強誘電体薄膜の作製と特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	固相成長による配向制御したHfO2基強誘電体薄膜の作製と特性評価
English:

Author

Japanese:	三村和仙, 片山きりは, 清水荘雄, 内田寛, 木口賢紀, 赤間章裕, 今野豊彦, 坂田修身, 舟窪浩.
English:	Takanori Mimura, Kiriha Katayama, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Takanori Kiguchi, 赤間章裕, Toyohiko Konno, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 19, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: