高密度プラズマを用いた3C-SiC/Si上のダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長及び欠陥評価

Publication Information

Title

Japanese:	高密度プラズマを用いた3C-SiC/Si上のダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長及び欠陥評価
English:

Author

Japanese:	矢板潤也, 岩崎孝之, Meralys Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子.
English:	Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Meralys Natal, S. E. Saddow, Mutsuko Hatano.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 14, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	新潟
English: