高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価

Publication Information

Title

Japanese:	高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価
English:

Author

Japanese:	葭葉将治, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志.
English:	Masaharu Yoshiba, Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, Takashi Nagoshi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	平戸
English: