マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法

Publication Information

Title

Japanese:	マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

p. 25am2-PM-007

Published date

Oct. 24, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第8回集積化MEMSシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	長崎県
English:

Official URL