積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討
English:

Author

Japanese:	鈴木拓真, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人.
English:	Takuma Suzuki, Tso-Fu Mark Chang, Chun Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	応用物理学会 2017年春季講演会
English:

Volume, Number, Page

p. 14p-P3-11

Published date

Mar. 14, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会 2017年春季講演会
English:

Conference site

Japanese:	横浜
English: