積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法
English:

Author

Japanese:	佐布晃昭, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
English:	Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	応用物理学会 2017年春季講演会
English:

Volume, Number, Page

p. 14p-P3-17

Published date

Mar. 14, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会 2017年春季講演会
English:

Conference site

Japanese:	横浜
English: