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Publication Information


Title
Japanese:圧電素子によるマイクロフォンの特性シミュレーションモデル 
English: 
Author
Japanese: 佐藤 裕樹, 瀬志本 明, 山崎 王義, 藤原 宗, 益 一哉, 石原 昇.  
English: Hiroki Satoh, Akira Seshimoto, Kimiyoshi Yamasaki, Hajime Fujiwara, Kazuya Masu, Noboru Ishihara.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:平成29年電気学会全国大会 
English: 
Volume, Number, Page         p. 3－121
Published date Mar. 15, 2017 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:平成29年電気学会全国大会 
English: 
Conference site
Japanese:富山 
English: 
Official URL http://www.iee.jp/?page_id=4347
 
Abstract スマートフォンに代表されるモバイルデバイスには多数のMicro Electro Mechanical System(MEMS)マイクロフォンが搭載されている。MEMS マイクロフォンは音響-電気変換を担うトランスデューサーと、電気信号を増幅するアンプ部で構成される。従来のトランスデューサーは静電容量型が 一般的であるが、近年では防塵、防水性を備えた圧電型が発表された。圧電型トランスデューサーの動作原理は、圧電膜に音響信号による応力が掛かり、圧電膜内で分極が発生し、電荷が生成される、ことである。この物理現象を等価回路で表現できれば、性能の根拠、雑音性能を直感的に理解し易くなり、高性能、低雑音な圧電型トランスデューサーを設計できるようになる。また、圧電型トランスデューサーとマイクアンプのマッチングを考慮した高性能、低雑音なMEMS マイクロフォンが設計できるようになる。そこで、物理現象に則した圧電型トランスデューサーの等価モデルを提案する。

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