室温レーザーアニールにより作製されたβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>エピタキシャル薄膜の配向性制御

Publication Information

Title

Japanese:	室温レーザーアニールにより作製されたβ-Ga₂O₃エピタキシャル薄膜の配向性制御
English:	Orientation control of β-Ga₂O₃ epitaxial thin films formed by room-temperature laser annealing

Author

Japanese:	中村稀星, 内田啓貴, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Kisho Nakamura, Hiroki Uchida, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 1, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第64回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 64th JSAP Spring Meeting

Conference site

Japanese:	神奈川県横浜市
English:	Yokohama

Official URL