熱ナノインプリントによる原子ステップ型フレキシブル基板上導電性薄膜の周期的微細構造作製

Publication Information

Title

Japanese:	熱ナノインプリントによる原子ステップ型フレキシブル基板上導電性薄膜の周期的微細構造作製
English:	Fabrication of periodic nanostructure of conductive thin films on atomically stepped flexible substrate by thermal nanoimprint technique

Author

Japanese:	山田志織, 後藤里紗, 木下太一郎, 小松克伊, 谷山智康, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Shiori Yamada, Risa Goto, Taichiro Kinoshita, Katsuyoshi Komatsu, TOMOYASU TANIYAMA, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Aug. 25, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

Conference site

Japanese:	福岡県福岡市
English:	Fukuoka

Official URL