Study on Geometrical Parameters of Micro Check Valves made of SU-8

Publication Information

Title

Japanese:	SU-8で製作されたマイクロチェックバルブの幾何学的パラメータに関する検討
English:	Study on Geometrical Parameters of Micro Check Valves made of SU-8

Author

Japanese:	Mao Zebing, 金俊完, 吉田和弘.
English:	ZEBING MAO, Joon-wan KIM, KAZUHIRO YOSHIDA.

Language

English

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会2017年度年次大会講演論文集（ＤＶＤ論文集）
English:

Volume, Number, Page

No. 17-1 J1110202

Published date

Sept. 3, 2017

Publisher

Japanese:	一般社団法人日本機械学会
English:

Conference name

Japanese:	日本機械学会 2017年度年次大会
English:

Conference site

Japanese:	埼玉県
English:

Official URL